特點：高精度，快響應(yīng)，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業(yè)的技術(shù)支持

真空等離子設(shè)備特點：高精度，快響應(yīng)，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業(yè)的技術(shù)支持

• 處理均勻性佳

• 離子能量低、不損傷基板

• 沒有電極及基板的污染

• 設(shè)計之特殊等離子電極

• 高密度等離子源

§ 等離子效率高、清潔效率高

§ 可控制低的離子能量

§ 結(jié)合化學(xué)反應(yīng)性及物理撞擊性

• 處理速度快、清潔效率高、可靠度高

• 操作范圍廣

• 可使用多種制程氣體

• 全自動且容易操作

• 設(shè)備穩(wěn)定高，容易維護(hù)

• 可依客戶需求作更改

用途：適用于印制線路板行業(yè)，半導(dǎo)體IC領(lǐng)域，硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域，汽車電子行業(yè)，航空工業(yè)等。

1、印制線路板行業(yè)：高頻板表面活化，多層板表面清潔、去鉆污，軟板、軟硬結(jié)合板表面清潔、去鉆污，

軟板補強(qiáng)前活化。

2、半導(dǎo)體IC領(lǐng)域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗

3、硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域：硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化

整機(jī)規(guī)格：1820mm(W)×1100mm(D)×1860mm（H）

電極規(guī)格：12層平板式電極板（8500mm×550mm）

電源系統(tǒng)：10KW等離子體發(fā)生源（40KHz，可選13.56MHz）

控制系統(tǒng)：PC工控系統(tǒng)+PLC自動控制

進(jìn)氣系統(tǒng)：2—5路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O2

適用于印制線路板行業(yè)，半導(dǎo)體IC領(lǐng)域，硅膠、塑膠、聚合體領(lǐng)域，汽車電子行業(yè)，航空工業(yè)等：1、印制

線路板行業(yè)：高頻板表面活化，多層板表面清潔、去鉆污，軟板、軟硬結(jié)合板表面清潔、去鉆污，軟板補強(qiáng)

前活化；2、半導(dǎo)體IC領(lǐng)域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗；3、硅膠、塑膠、聚合體

領(lǐng)域：硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。

廣東匯成真空科技股份有限公司是一家面向全球的真空應(yīng)用解決方案提供商，研發(fā)、生產(chǎn)和銷售各類光學(xué)鍍膜設(shè)備、功能性薄膜涂層設(shè)備、裝飾涂層設(shè)備、卷繞鍍膜設(shè)備、汽車零部件鍍膜設(shè)備、連續(xù)式磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線、超高真空系統(tǒng)、半導(dǎo)體設(shè)備、電子生產(chǎn)設(shè)備、光電設(shè)備、光伏設(shè)備、動力電池設(shè)備及產(chǎn)品相關(guān)配件的國家高新技術(shù)企業(yè)，專注設(shè)備與產(chǎn)品的相關(guān)制造工藝和應(yīng)用技術(shù)、控制軟件、工藝流程控制軟件及相關(guān)生產(chǎn)自動化軟件的研發(fā)、應(yīng)用，并提供技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)咨詢和技術(shù)服務(wù)。