北京天恒誠悅科技有限公司
主營：PLD真空鍍膜機,多功能離子鍍膜機,卷繞鍍膜機,蒸發(fā)鍍膜機,ICP等離子刻蝕設備,多弧離子鍍膜機,ITO真空玻璃鍍膜機,CVD金剛石生產(chǎn)設備,真空排氣臺,進口機組及泵,鍍膜專項使用電源,真空標準件,PLD真空鍍膜機,多功能離子鍍膜機,卷繞鍍膜機,蒸發(fā)鍍膜機,ICP等離子刻蝕設備,多弧離子鍍膜機,ITO真空玻璃鍍膜機,CVD金剛石生產(chǎn)設備,真空排氣
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供應PECVD增強型本設備為多功能型超高真空等離子增強化學氣相沉積設備主要由全真空專用不銹鋼腔體，分子泵高真空系統(tǒng)，電源，生長機體載體及溫控系統(tǒng)，獨立排氣和生長壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)，冷卻循環(huán)水輔助設備等組成。整機結(jié)構(gòu)緊湊、操作方便、抽真空速度快。此設備控制系統(tǒng)采用邏輯按鈕手動控制與工控機自控控制可選。實現(xiàn)真空抽氣和鍍膜工藝一體化功能。此設備可用于制作SiO2、Si3N4、非晶Si：H、多晶Si、SiC、W、Ti-Si、GaA
2011-06-22 0
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