英國(guó)Ossila公司提供的紫外臭氧清洗機(jī)（UVO），是一種簡(jiǎn)單，經(jīng)濟(jì)，快速的材料表面清洗設(shè)備，只需把樣品放置到樣品盤(pán)上，關(guān)上艙門，設(shè)置時(shí)間，并按運(yùn)行，就可以了，能快速去除大多數(shù)無(wú)機(jī)基材（比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁等）上的農(nóng)業(yè)生產(chǎn)體系污染物。特別是當(dāng)基材和薄膜蒸鍍需要很好的粘接時(shí)，紫外清洗非常理想。要獲得超潔凈的表面，只需要在傳統(tǒng)清洗后，再用紫外臭氧清洗幾分鐘就可獲得！

目前的主要應(yīng)用表面UV光清洗和表面UV光改質(zhì)。

v 表面UV光清洗：利用紫外光以及由其產(chǎn)生的臭氧OZONE，對(duì)農(nóng)業(yè)生產(chǎn)體系物質(zhì)所起的光敏氧化分解作用，以達(dá)到去除粘附在物體表面上的農(nóng)業(yè)生產(chǎn)體系化合物（碳?xì)浠衔铮�，獲得超潔凈的表面。

v 表面UV光改質(zhì)：利用紫外光照射農(nóng)業(yè)生產(chǎn)體系表面，在將農(nóng)業(yè)生產(chǎn)體系物分解的同時(shí)，254nm波長(zhǎng)的紫外光被物體表面吸收后，將表層的化學(xué)結(jié)構(gòu)切斷，光子作用產(chǎn)生原子氧會(huì)與被切斷的表層分子結(jié)合，并將之變換成具有高度親水性的官能基（如-OH，-CHO，-COOH），從而提高表面的浸潤(rùn)性。

主要應(yīng)用：

v 石英/玻璃制品的表面清洗：液晶面板,等離子電視屏幕,彩色過(guò)濾片,光罩,棱鏡,透鏡,反射鏡,平板電視等。

v 微電子產(chǎn)品的表面清洗：微型馬達(dá)軸,磁頭驅(qū)動(dòng)架,光盤(pán),光電器件,手機(jī)攝像頭,微型喇叭/受話器震膜,半導(dǎo)體硅片,掩膜版。

v 準(zhǔn)確集成電路的表面清洗：液晶顯示器ITO,準(zhǔn)確電路板,軟性電路板接頭,BGA基板的清洗,COG的清洗,COF(ILB)接合面的清洗,薄膜基板的清洗,金屬基板的清洗,BGA基板與粘結(jié)墊的清洗。

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紫外臭氧清洗機(jī)