1000A（100nm）柵極氧化固態(tài)劑量計

技術(shù)要求

典型數(shù)值在27°C

氧化層厚度1000A

輻射Vth靈敏度

輻射場=0.125MV/cm:靈敏度=0.09mV/rad輻射場=0MV/cm:靈敏度=0.014mV/rad(靈敏度在30krad(H2O)，在以下讀寫器的配置中使用一個恒量10µA)

溫度補(bǔ)償

TVTC2.5mV/°C(該數(shù)據(jù)出自溫度27°C-100°C線性模式中的外推Vtp數(shù)值)

線性模式中Z.T.C.數(shù)值~3µA(Vs=Vb=0,Vds=-0.1)

飽和模式中Z.T.C.數(shù)值~30µA(使用以下讀寫器電路配置)

預(yù)輻射劑量計的特點

閾值電壓（外推）-2.15 /-0.1V

Vth漂移時間（秒）2.2mV/十年(該數(shù)據(jù)出自讀寫器配置強(qiáng)迫40µA.)

氧化層擊穿電壓~75V

溝道漏電流Vd=-12,Vg=Vs=Vbulk=0~10pA

亞閾值斜率100 /-20mV/十年

溝道電阻Vgs-Vth=5V,Vds=-0.1~0.3Mohms

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