ITO膜層的主要成份是氧化銦錫。在厚度只有幾千埃的情況下，氧化銦透過率高，氧 化錫導電能力強，液晶顯示器所用的ITO玻璃正是一種具有高透過率的導電玻璃。由于ITO具有很強的吸水性，所以會吸收空氣中的水份和二氧化碳并產(chǎn)生化學反應(yīng)而變質(zhì)，俗稱“霉變”，因此在存放時要防潮。ITO層在活性正價離子溶液中易產(chǎn)生離子置換反應(yīng)，形成其它導電和透過率不佳的反應(yīng)物質(zhì)，所以在加工過程中，盡量避免長時間放在活性正價離子溶液中。ITO層由很多細小的晶粒組成，晶粒在加溫過程中會裂變變小，從而增加更多晶界，電子突破晶界時會損耗一定的能量，所以ITO導電玻璃的ITO層在600度以下會隨著溫度的升高，電阻也增大。

ITO導電玻璃按電阻分，分為高電阻玻璃（電阻在150~500 歐姆）、普通玻璃（電阻在60~150歐姆）、低電阻玻璃（電阻小于60歐姆）。高電阻玻璃一般用于靜電防護、觸控屏幕制作用；普通玻璃一般用于TN類液晶顯示器和電子抗干擾；低電阻玻璃一般用于STN液晶顯示器和透明線路板。ITO導電玻璃按尺寸分，有14”x14”、14”x16”、20”x24”等規(guī)格；按厚度分，有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等規(guī)格，厚度在0.5mm以下的主要用于STN液晶顯示器產(chǎn)品。ITO導電玻璃按平整度分，分為拋光玻璃和普通玻璃。