工藝流程: ??? 上片→預(yù)噴淋洗→高壓噴淋洗+滾刷洗→純水沖洗→風(fēng)切干燥(含除靜電裝置)。 技術(shù)要求: ??? 1.采用10.4英寸“三菱”觸摸屏人機界面操作和“三菱”PLC控制。 ??? 2.機架采用工業(yè)不銹鋼型材,槽體采用SUS304/316不銹鋼板。 ????3.電器件為世界。 ??? 4.噴淋段加熱為選用項(一般選配80~120KW加熱機)。 ??? 5.輸送方式:全SUS
2013-03-08 0工藝流程: ??? 上片→切液1→蒸汽清洗→洗劑滾刷洗→切液2→DI水盤刷洗→切液3→DI水滾刷洗→DI噴淋洗1→BJ噴洗→DI水噴洗2→風(fēng)切干燥→下片(含除靜電裝置) 技術(shù)要求: ??? 1.采用10.4英寸“三菱”觸摸屏人機界面操作和“三菱”PLC控制。 ??? 2.全線運行監(jiān)測和觸摸屏顯示。 ??? 3.機架采用工業(yè)鋁型材,清洗槽采用進口透明無靜電PVC板,其他為SUS304/31
2013-03-08 0上片→切液1→蒸汽清洗→洗劑滾刷洗→切液2→DI水盤刷洗→切液3→DI水滾刷洗→DI噴淋洗1→BJ噴洗→DI水噴洗2→風(fēng)切干燥→下片(含除靜電裝置) 技術(shù)要求: ??? 1.采用10.4英寸“三菱”觸摸屏人機界面操作和“三菱”PLC控制。 ??? 2.全線運行監(jiān)測和觸摸屏顯示。 ??? 3.機架采用工業(yè)鋁型材,清洗槽采用進口透明無靜電PVC板,其他為SUS304/316不銹鋼制作。 ??
2013-03-08 0上片→切液1→蒸汽清洗→洗劑滾刷洗→切液2→DI水盤刷洗→切液3→DI水滾刷洗→DI噴淋洗1→BJ噴洗→DI水噴洗2→風(fēng)切干燥→下片(含除靜電裝置) 技術(shù)要求: ??? 1.采用10.4英寸“三菱”觸摸屏人機界面操作和“三菱”PLC控制。 ??? 2.全線運行監(jiān)測和觸摸屏顯示。 ??? 3.機架采用工業(yè)鋁型材,清洗槽采用進口透明無靜電PVC板,其他為SUS304/316不銹鋼制作。 ??
2013-03-08 0上片→切液1→蒸汽清洗→洗劑滾刷洗→切液2→DI水盤刷洗→切液3→DI水滾刷洗→DI噴淋洗1→BJ噴洗→DI水噴洗2→風(fēng)切干燥→下片(含除靜電裝置) 技術(shù)要求: ??? 1.采用10.4英寸“三菱”觸摸屏人機界面操作和“三菱”PLC控制。 ??? 2.全線運行監(jiān)測和觸摸屏顯示。 ??? 3.機架采用工業(yè)鋁型材,清洗槽采用進口透明無靜電PVC板,其他為SUS304/316不銹鋼制作。 ??
2013-03-08 0工業(yè)流程: ??? 入料→切液1→蝕刻1(2米)→蝕刻2(2米)→切液2→四級DI水噴淋洗→切液3→檢查→切液4→脫膜→切液5→DI水滾刷洗→DI水噴淋洗→超聲波清洗→切液6→四級DI水噴淋洗→風(fēng)切干燥→出料 技術(shù)要求: ??? 1.采用10.4英寸“三菱”觸摸屏人機界面操作和“三菱”PLC控制。 ??? 2.機架采用工業(yè)鋼型材烤漆處理,槽體采用SIMONA象牙色PVC板,其他為SUS30
2013-03-08 0工藝流程: ??? 入料→切液1→顯影→切液2→四級DI水噴淋洗→風(fēng)切干燥→出料。 技術(shù)要求: ??? 1.采用10.4英寸“三菱”觸摸屏人機界面操作和“三菱”PLC控制。 ??? 2.機架采用工業(yè)鋼型材烤漆處理,槽體采用SIMONA象牙色PVC板,其他為SUS304/306不銹鋼和耐腐蝕材料制作。 ??? 3.傳動結(jié)構(gòu)為45度PVDF/UPE斜齒輪傳動,其中主傳動齒輪浸泡在水內(nèi)。 ?
2013-03-08 0技術(shù)要求: ??? 1.采用10.4英寸“三菱”觸摸屏人機界面操作和“三菱”PLC控制。 ??? 2.全線運行監(jiān)測和觸摸屏顯示。 ??? 3.機架采用工業(yè)鋁型材,槽體采用進口6061鋁板,其他為SUS304/316不銹鋼制作。 ????4.電器件為世界。 ??? 5.設(shè)備配備氮氣均勻系統(tǒng)和水冷卻系統(tǒng)。 技術(shù)參數(shù): ??? 1.設(shè)備尺寸:540mm(L)*2500mm(W)*3000m
2013-03-08 0工藝流程: ??? 升降機→EUV清洗→滾刷清洗→BJ清洗→水刀沖洗→風(fēng)干→升降機 技術(shù)要求: ??? 1.采用10.4英寸“三菱”觸摸屏人機界面操作和“三菱”PLC控制。 ??? 2.全線運行監(jiān)測和觸摸屏顯示。 ??? 3.機架采用工業(yè)鋁型材,清洗槽采用進口透明無靜電PVC板,其他為SUS304/316不銹鋼制作。 ????4.電器件為世界。 ??? 5.管路為潔凈無菌管。 技術(shù)
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