出售9成新美國ZYGO平面干涉儀,150MM激光干涉儀主體+100MM平面鏡頭+立試支架 （帶手柄帶顯示器），配軟件,型號GPIXP/D

美國ZYGO激光干涉儀

菲索型激光干涉儀，具有的環(huán)形光源偽跡消除抑制技術(shù)，是一種高 精度、共光路面形計量干涉儀。ZYGO新一代激光干涉儀系列--VeriFire?激光干涉儀，繼承了工業(yè)標準GPI?激光干涉儀系列的所有優(yōu)點，融合了機械相移技術(shù)、革命性的數(shù)據(jù)采集技術(shù)、高性能的光電成像系統(tǒng)、振動補償軟件、非球面測量技術(shù)和波紋抑制技術(shù)等，是ZYGO領(lǐng)先技術(shù)的集中體現(xiàn)。 Zygo新推出用于在震動環(huán)境下測量的DynaFiz干涉儀。?

系統(tǒng):

測量功能：精密測量各種反射面和光學(xué)系統(tǒng)的表面面形、精密測量光學(xué)系統(tǒng)的傳輸波前

測量技術(shù)：機械相移干涉測量（PSI）

校準系統(tǒng)?：快速條紋采樣系統(tǒng)(QFAS)?(雙光點定位于十字線)

測量光束直徑?：4″（102mm）或6″（152mm）

對準視場范圍FOV?：4″：±3°；6″：±2°；

光學(xué)中心線?：4.25″（108mm）

激光光源：大功率穩(wěn)頻氦-氖激光，IIIa?級

波長：?633?nm

頻率穩(wěn)定度：?

相干長度?：＞100m

成像分辨率?：1000?x?1000?像素

幀速?：43Hz

數(shù)據(jù)采集時間?：302ms

數(shù)據(jù)模式：?8位

放大?：電控數(shù)顯放大1-5X

偏振?：接近圓偏振（1.2：1或者更好）

光曈調(diào)焦范圍：?4″：±2.5m；6″：±5.5m；

計算機和軟件?：高性能DELL?PC，Windows7，64位，ZYGO軟件MetroproTM?X和MetroproTM?9

安裝構(gòu)造?：水平臥式或垂直立式

附件?：詳細參考ZYGO?激光干涉儀附件向?qū)募�，OMP-0463

尺寸(長x寬x高)：?4″：69?x?31?x?34?cm?(27.3?x?12.1?x?13.4?in.)；6″：92?x?31?x?34cm?（36.4?x?12.1?x?13.4?in.）

性能參數(shù)：

RMS重復(fù)性：?

RMS波前重復(fù)性：

像素峰值偏差：

工作環(huán)境：

溫度:15°C?-?30°C?(59°F?-?86°F)

溫度變化率：?＜1.0°C/15min

濕度:相對濕度5%?-?95%?,?無凝結(jié)

隔振:機械移相測量模式推薦使用被動隔振系統(tǒng)。