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光學(xué)鍍膜濾光片

來(lái)源:光學(xué)薄膜前沿 2019/10/12 9:46:51

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  圖9b:增強(qiáng)對(duì)比度:沒(méi)有使用濾光片

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  圖9c:增強(qiáng)對(duì)比度:紅色濾光片

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  圖9d:增強(qiáng)對(duì)比度:綠色濾光片

  范例2:拉曼光譜

  拉曼光譜應(yīng)用的結(jié)果可以通過(guò)使用一些選擇的濾光片大幅提高:激光帶通、陷波片,或激光長(zhǎng)波通為了達(dá)到效果,使用窄至1.2nm和光密度OD 6.0的帶寬濾光片。激光帶通濾光片放置在激光和樣品之間的光路內(nèi)。這確保阻斷了任何外部環(huán)境光,只有激光線波長(zhǎng)可通過(guò)。光入射到樣品后,它會(huì)由于拉曼散射而位移并包含許多低強(qiáng)度模式或信號(hào)。因此,它在通過(guò)使用陷波濾光片(以盡可能近激光波長(zhǎng)為中心)以便阻斷高度度激光的應(yīng)用中變得很重要。如果發(fā)生非常接近激光的拉曼激發(fā)模式,激光長(zhǎng)波通濾光片則可以作為有效的替代品。圖10典型的拉曼光譜設(shè)置圖。

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  圖10:拉曼光譜設(shè)置

  除了上述提及的兩項(xiàng),可用于多種應(yīng)用:配色成像和拉曼光譜。它們幾乎出現(xiàn)在光學(xué)、成像和光電子行業(yè)的各個(gè)方面;了解的制造技術(shù)、關(guān)鍵術(shù)語(yǔ)和當(dāng)今可用的濾光片類型可幫助選擇適用于任何設(shè)置的濾光片。

  用電子束(EB)蒸發(fā)的TiO2和SiO2薄膜系統(tǒng)具有重要的應(yīng)用。但是用常規(guī)的蒸發(fā)技術(shù),即使基板的溫度高達(dá)300℃以上,薄膜仍呈現(xiàn)出明顯的柱狀結(jié)構(gòu)特性。這種柱狀結(jié)構(gòu)的薄膜,由于膜層中包含著大量的空隙,因此隨著薄膜濾光片吸潮,膜層折射率升高,濾光片的中心波長(zhǎng)就會(huì)產(chǎn)生明顯的漂移。為了表征這種結(jié)構(gòu)特性,人們提出了聚集密度P,它被定義為薄膜中固體部分的體積與總體積之比。所以它是一個(gè)描述薄膜疏松程度的物理量。

  隨著離子鍍膜技術(shù)的發(fā)展,諸如離子輔助淀積(IAD),反應(yīng)離子鍍(RIP)和離子束濺射(IBS)等,薄膜的聚集密度得到了顯著的提高,甚至已經(jīng)有實(shí)驗(yàn)報(bào)道,有些薄膜的聚集密度大于1。這意味著薄膜的密度比自然界中的大塊材料的密度還要高,原因是在高聚集密度的薄膜中,常常呈現(xiàn)出非常大的壓應(yīng)力,致使薄膜具有更高的聚集密度。但是,即使薄膜的聚集密度大于1,濾光片中心波長(zhǎng)仍會(huì)出現(xiàn)漂移。已經(jīng)認(rèn)識(shí)到,影響薄膜濾光片中心波長(zhǎng)漂移的不僅是聚集密度,而且還有薄膜與基板的溫度折射率系數(shù)和熱膨脹系數(shù)。所以濾光片的中心波長(zhǎng)漂移可以簡(jiǎn)單地表示為Δλ=薄膜空隙吸潮引起的漂移+溫度折射率變化引起的漂移+熱膨脹引起的漂移。

  總結(jié):顯然,當(dāng)采用離子技術(shù)使聚集密度提高到1時(shí),吸潮引起的中心波長(zhǎng)漂移已可忽略不計(jì),而其他兩種因素上升為主要因素。本文僅從一般工藝出發(fā),著重考察一下TiO2/SiO2組成的三腔濾光片的光學(xué)穩(wěn)定性與上述三種因素的關(guān)系。實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示,在可見(jiàn)光區(qū)域,對(duì)于聚集密度約為0.92的膜系,這三種因素中,吸潮引起的中心波長(zhǎng)非常大,數(shù)量級(jí)在10 nm左右。對(duì)于膠合的膜系來(lái)說(shuō),膜系空隙中水汽折射率隨溫度的上升而下降引起的中心波長(zhǎng)短移大約在1×10-2nm/℃量級(jí)。而熱膨脹引起的漂移大約在1×10-3nm/℃量級(jí)。

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