靶材按材料種類(lèi)型分，可分為金屬靶材、合金靶材、化合物靶材。如何燒制是個(gè)問(wèn)題,而燒結(jié)大尺寸的ITO靶材就意味著需要大型的爐子。2018年的數(shù)據(jù)顯示，塊靶材。首先需要把氧化銦和氧化錫粉末按嚴(yán)格的比例混合，然后生產(chǎn)加工成地板磚的形狀，1700攝氏度的高溫?zé)�，形成的黑灰色陶瓷半�?dǎo)體就是ITO靶材。目前，大部分國(guó)家銦的保有量只有1.6萬(wàn)噸，中國(guó)的銦保有量約1萬(wàn)噸，到62%。接下來(lái)是秘魯?shù)?80噸、加拿大的560噸、美國(guó)的450噸，分別占大部分國(guó)家保有量的3.6%、3.5%、2.7%，比較可知。鈮是灰白色金屬，熔點(diǎn)2468℃，沸點(diǎn)4742℃，密度8.57克/立方厘米。鈮是一種帶光澤的灰色金屬，具有順磁性，屬于元素周期表上的5族。高純度鈮金屬的延展性較高，但會(huì)隨雜質(zhì)含量的增加而變硬。

濺射：是集成電路制造過(guò)程中要反復(fù)用到的工藝；靶材：就是濺射工藝中必不可少的重要原材料。濺射是制備薄膜材料的主要技術(shù)之一，它利用離子源產(chǎn)生的離子，在真空中經(jīng)過(guò)加速聚集，而形成高速度能的離子束流，轟擊固體表面，離子和固體表面原子發(fā)生動(dòng)能交換，使固體表面的原子離開(kāi)固體并沉積在基底表面，被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料，稱(chēng)為濺射靶材。在靶材制造的過(guò)程中，需要經(jīng)歷粉末冶煉、粉末混合、壓制成型、氣氛燒結(jié)、塑性加工、熱處理、超聲探傷、機(jī)械加工、水切割、機(jī)械加工、金屬化、綁定、超聲、超聲清洗、檢驗(yàn)出貨。磁控濺射一般分為二種：直流濺射和射頻濺射，其中直流濺射設(shè)備原理簡(jiǎn)單，在濺射金屬時(shí)，其速率也快。而射頻濺射的使用范圍更為廣泛。除可濺射導(dǎo)電材料外，也可濺射非導(dǎo)電的材料，同時(shí)還可進(jìn)行反應(yīng)濺射制備氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。

大尺寸一體化鋁釹旋轉(zhuǎn)靶材及其制備方法，特別涉及一種大尺寸一體化鋁釹旋轉(zhuǎn)靶材的制備。真空熔煉和熱壓技術(shù)由于成分不均勻容易產(chǎn)生偏析，再加上靶材形狀受到限制，已經(jīng)不能滿(mǎn)足靶材成分均勻、大尺寸一體化的要求。濺射靶材生產(chǎn)過(guò)程屬于有色金屬物理加工，生產(chǎn)過(guò)程中不涉及有毒有害原料和有毒有害“三廢”，國(guó)家對(duì)濺射靶材行業(yè)的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售不存在特殊管制。采用超音速火焰(HVOF)和電弧噴涂技術(shù)制備金屬陶瓷/合金多層涂層。結(jié)果表明：涂層籌備為扁平層狀結(jié)構(gòu)，涂層與基體、涂層與涂層之間結(jié)合緊密，涂層的磨損質(zhì)量損失與載荷成正比;磨料的硬度較高時(shí)，涂層的磨損質(zhì)量損失較大，與單層涂層相比,多層涂層在較高載荷作用下具有較好的抗磨損性能。

根據(jù)應(yīng)用領(lǐng)域的不同，靶材的材料、形狀也會(huì)有所差異。根據(jù)形狀可分為長(zhǎng)(正)方體形、圓柱體形、無(wú)規(guī)則形以及實(shí)心、空心靶材。柱形磁控測(cè)射靶的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)緊湊，靶材利用率較平面矩形靶高。將磁控濺射鍍膜用靶材的使用率提高至40%，同時(shí)，降低了生產(chǎn)成本，減少了資源浪費(fèi)，尤其適用于和氧化物靶材。半導(dǎo)體、面板、PCB相關(guān)行業(yè)發(fā)展脈絡(luò)分析電子行業(yè)是發(fā)展新經(jīng)濟(jì)的基石。鍺和硅是常用的元素半導(dǎo)體；化合物半導(dǎo)體包括第Ⅲ和第Ⅴ族化合物、第Ⅱ和第Ⅵ族化合物（硫化鎘、硫化鋅等）、氧化物（錳、鉻、鐵、銅的氧化物），一類(lèi)是不改變材料的化學(xué)組成進(jìn)行提純，在朝產(chǎn)業(yè)集群化的方向發(fā)展。半導(dǎo)體行業(yè)經(jīng)常發(fā)生并購(gòu)整合活動(dòng)，為客戶(hù)提供滿(mǎn)足無(wú)論是在工業(yè)、汽車(chē)、個(gè)人電子或其他領(lǐng)域。

在1350℃時(shí),表面形貌上靶材表面晶粒間結(jié)合的致密。從斷面形貌看,氣孔較少,主要存在晶粒交界處,氣孔圓化,基本上達(dá)到了陶瓷靶材的燒結(jié)終點(diǎn)。當(dāng)選取Al粉作為摻雜時(shí),溫度系列可以看出,在1050℃晶粒尺寸大,同時(shí)得到的電阻率相對(duì)較低�？萍既�?qǐng)?bào)：ITO靶材屬于35項(xiàng)卡脖子技術(shù)之一。UVTM掌握濺射靶材生產(chǎn)的核心技術(shù)以后，實(shí)施極其嚴(yán)格的保密措施，限制技術(shù)擴(kuò)散，同時(shí)不斷進(jìn)行橫向擴(kuò)張和垂直整合，將業(yè)務(wù)觸角積極擴(kuò)展到濺射鍍膜的各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域。研制出適用不同應(yīng)用領(lǐng)域的濺射靶材產(chǎn)品，才能在大部分國(guó)家濺射靶材市場(chǎng)中占得一席之地。UVTM自主創(chuàng)新開(kāi)發(fā)的能力，TFT-LCD用高品質(zhì)ITO靶材，正式投入量產(chǎn)。自此，靶材的國(guó)外技術(shù)壁壘。

目前，大部分國(guó)家的靶材制造行業(yè)，特別是高純度的靶材市場(chǎng)，呈現(xiàn)寡頭壟斷格局，主要由幾家美日大企業(yè)把持，如日本的三井礦業(yè)、日礦金屬、日本東曹、住友化學(xué)、日本愛(ài)發(fā)科，以及美國(guó)霍尼韋爾、普萊克斯等。日礦金屬是大部分國(guó)家大的靶材供應(yīng)商，靶材銷(xiāo)售額約占大部分國(guó)家市場(chǎng)的30%，霍尼韋爾在并購(gòu)JohnsonMattey、整合高純鋁、鈦等原材料生產(chǎn)廠后，占到大部分國(guó)家市約20%的份額，此外，東曹和普萊克斯分別占20%和10%。氧化鋅是一種透明導(dǎo)電膜材料。以ZnO粉末和Al_2O_3粉末為主要原料,以常壓、空氣氣氛燒結(jié)為手段制備透明導(dǎo)電膜用ZnO陶瓷靶材。研究結(jié)果表明:粉末成型壓力為3MP時(shí),靶材電學(xué)性能佳;當(dāng)Al:Zn原子比為4.100時(shí),ZnO的電阻率低,達(dá)4.1×10~(-3)Ω·㎝,當(dāng)Al摻雜量超過(guò)某一數(shù)值后,Al不再以替位離子形式存在,而是與周?chē)腪n、O原子共同作用,生成鋅鋁尖晶石相,從而導(dǎo)致材料的電阻率升高。

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