靶材，特別是高純度濺射靶材應(yīng)用于電子元器件制造的物理-氣相沉積工藝（PVD）、太陽能電池等表面電子薄膜的關(guān)鍵材料。所謂濺射，是制備薄膜材料的主要技術(shù)，也是PVD的一種。它通過在PVD設(shè)備中用離子對目標(biāo)物進(jìn)行轟擊，使得靶材中的金屬原子以一定能量逸出，從而在晶圓表面沉積，濺鍍形成金屬薄膜，其中被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料。稱為濺射靶材。IGZO，氧化銦錫，氧化鋅鋁，AZO，ITO，氧化錫，二氧化錫，氧化鋯，氧化鉬，氧化鈷，四氧化三鈷，氧化亞鈷，氧化銀，氧化鈣，等高純氧化物。

一般來說，利用濺射進(jìn)行鍍膜有幾個特點：（1）金屬、合金或絕緣物均可做成薄膜材料。（2）在適當(dāng)?shù)脑O(shè)定條件下可將多元復(fù)雜的靶材制作出同一組成的薄膜。（3）利用放電氣氛中加入氧或其它的活性氣體，可以制作靶材物質(zhì)與氣體分子的混合物或化合物。

尤特新材致力于研發(fā)、生產(chǎn)、營銷和銷售平板及旋轉(zhuǎn)式ITO靶材，及其它相關(guān)產(chǎn)品，公司內(nèi)設(shè)有別的高科技先進(jìn)實驗室。尤特新材生產(chǎn)的ITO靶材廣泛應(yīng)用于液晶顯示面板、OLED(農(nóng)業(yè)生產(chǎn)體系發(fā)光二極管)、觸摸屏、LED(發(fā)光二極管)、太陽能、汽車玻璃等領(lǐng)域。尤特新材在平板及旋轉(zhuǎn)式ITO靶材領(lǐng)域一直處于應(yīng)用創(chuàng)造者及技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)者的地位。UVTM是國家高新技術(shù)企業(yè)，公司成立于二00三年，專業(yè)從事信息、鍍膜、太陽能材料的科研與生產(chǎn)。公司從德國、日本、引進(jìn)先進(jìn)的生產(chǎn)、檢測設(shè)備和專業(yè)人才，是集科研、生產(chǎn)、銷售、服務(wù)于一體的中外合資企業(yè)。UVTM廣州工廠建成于2006年，位于花都區(qū)華僑科技工業(yè)園，占地面積近3萬平方米，建筑面積239平方米,地理位置近臨廣州國際白云機(jī)場，交地便利。

在被濺射的靶極（陰極）與陽極之間加一個正交磁場和電場，在高真空室中充入所需要的惰性氣體（通常為Ar氣），磁鐵在靶材料表面形成250～350高斯的磁場，同高壓電場組成正交電磁場。在電場的作用下，Ar氣電離成正離子和電子，靶上加有一定的負(fù)高壓，從靶極發(fā)出的電子受磁場的作用與工作氣體的電離幾率加大，在陰極附近形成高密度的等離子體，Ar離子在洛侖茲力的作用下加速飛向靶面，以很高的速度轟擊靶面，使靶上被濺射出來的原子遵循動量轉(zhuǎn)換原理以較高的動能脫離靶面飛向基片淀積成膜。磁控濺射一般分為二種：直流濺射和射頻濺射，其中直流濺射設(shè)備原理簡單，在濺射金屬時，其速率也快。而射頻濺射的使用范圍更為廣泛，除可濺射導(dǎo)電材料外，也可濺射非導(dǎo)電的材料，同時還可進(jìn)行反應(yīng)濺射制備氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。若射頻的頻率提高后就成為微波等離子體濺射，如今，常用的有電子回旋共振(ECR）型微波等離子體濺射。

已經(jīng)為真空鍍膜產(chǎn)品的普遍使用鋪平了道路。以卷繞式真空鍍膜機(jī)為例，剛開發(fā)時可鍍的薄膜基材寬度是150mm，目前已達(dá)2253mm�；木硗驳木韽绞�1000mm，卷繞速度750m/min。自動裝卸的半連續(xù)卷繞式真空鍍膜機(jī)鍍膜占整個周期的75%，操作只占25%。隨著計測技術(shù)、控制技術(shù)的進(jìn)步和電子計算機(jī)的應(yīng)用，卷繞式真空鍍膜機(jī)正向著高度自動化和高度可靠性的方向發(fā)展。真空鍍膜機(jī)真空鍍膜機(jī)能夠沉積的鍍膜層厚度范圍為0.01-0.2，可以在這個范圍內(nèi)選擇，有的還可以鍍多層膜，滿足多種需要。日本****提出沉積兩種不同鍍膜材料的卷繞式蒸鍍裝置。濺射靶材主要應(yīng)用于電子及信息產(chǎn)業(yè)，如集成電路、信息存儲、液晶顯示屏、激光存儲器、電子控制器件等；亦可應(yīng)用于玻璃鍍膜域；還可以應(yīng)用于耐磨材料、高溫耐蝕、裝飾用品等行業(yè)。

鋁釹靶材主要是用于平面顯示器、觸摸屏的玻璃基板電極層的鍍膜。目前主要是用真空熔煉和熱壓燒結(jié)方法研發(fā)和生產(chǎn)小尺寸平面靶，大尺寸靶是通過小尺寸拼接形成。由于不是一體化（需要拼接）容易產(chǎn)生電弧放電，因此成膜質(zhì)量差，難以真實應(yīng)用到高質(zhì)量的顯示屏、觸摸屏上。盡管，人們已經(jīng)采用真空熔煉生產(chǎn)空心鋁釹靶靶管，并通過銦焊綁定到不銹鋼背管上生產(chǎn)鋁釹旋轉(zhuǎn)靶材。由于銦焊料昂貴（占整個靶材成本50%)導(dǎo)致鋁釹旋轉(zhuǎn)靶材的成本高；另一方面，由于是一節(jié)節(jié)靶管拼接而成存在節(jié)縫，在使用時容易形成電弧放電，降低成膜質(zhì)量。此外，由于采用低熔點的銦焊接，靶材使用時發(fā)熱，容易導(dǎo)致脫靶現(xiàn)象，還有鋁釹靶管焊接時熱收縮不容易控制，焊接難度大。真空鍍膜機(jī)是在中間設(shè)置真空室。

主營產(chǎn)品：濺射靶材,鍍膜靶材,金屬靶材,旋轉(zhuǎn)靶材,平面靶材,噴涂靶材,靶材,UV玻璃油墨 公司成立年份：2003
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