帶 * 為必填項 關(guān)閉
鐵磁性靶材,非磁性靶材,磁控濺射靶
訂貨量(套)
價格(不含稅)
1
2800.00元/套
供應(yīng)標(biāo)題:鐵磁性靶材,非磁性靶材,磁控濺射靶
價格:電儀
發(fā)布公司:廣州市尤特新材料有限公司
供貨總量:9999
聯(lián)系人:楊永添
發(fā)貨地點:廣東 廣州 花都區(qū)
發(fā)布時間:2024年08月16日
有效期至:2025年02月16日
在線詢盤:在線詢盤
產(chǎn)品綜合信息質(zhì)量:未計算
基本信息
ITO靶材成形的工藝有冷靜壓成。ITO/Si異質(zhì)結(jié)光電器件與p-n結(jié)光電池比較具有工藝簡單,轉(zhuǎn)換效率高等特點。在靶材制造的過程中,需要經(jīng)歷粉末冶煉、粉末混合、壓制成型、氣氛燒結(jié)、塑性加工、熱處理、超聲探傷、機(jī)械加工、水切割、機(jī)械加工、金屬化、綁定、超聲、超聲清洗、檢驗出貨。ITO有著多種功用,首先ITO為高帶隙材料,可用作光電池的光入射窗口,又可作為收集光電流的電極,在基底半導(dǎo)體Si上形成勢壘作為SIS結(jié)的一層以及抗反射層。銦是中國在儲量上占據(jù)優(yōu)勢的資源。磁控濺射一般分為二種:直流濺射和射頻濺射。其中直流濺射設(shè)備原理簡單,在濺射金屬時,其速率也快。而射頻濺射的使用范圍更為廣泛。除可濺射導(dǎo)電材料外。也可濺射非導(dǎo)電的材料,同時還可進(jìn)行反應(yīng)濺射制備氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。靶材。
大部分國家高純?yōu)R射靶材市場規(guī)模將超過160億美元,年復(fù)合增長率達(dá)13%。近年來,磁控濺射靶材是國家鼓勵和發(fā)展的新材料產(chǎn)業(yè)。此前,一方面,由于我國高等靶材一直受制于人,存在產(chǎn)業(yè)安全的隱患,急需高致密度、高純度、摻雜均勻、晶粒細(xì)小均勻、高電導(dǎo)率、高綁定率靶材的制備技術(shù)難題;另一方面,靶材行業(yè)缺乏理解、帶領(lǐng)客戶需求且懂新材料應(yīng)用的專業(yè)化研發(fā)支撐隊伍。高純?yōu)R射靶材是廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、磁記錄、平面顯示等領(lǐng)域的核心材料,市場前景廣闊。據(jù)統(tǒng)計,2011年大部分國家靶材市場容量約為400億元,市場需求量以每年超過30%的速度快速增長。隨著電子行業(yè)的發(fā)展,我國已逐漸成為了世界上薄膜靶材的大需求地區(qū)之一,但在高等靶材我國尚沒有成熟的生產(chǎn)商,主要依賴****,市場空間巨大。
科技日報:ITO靶材屬于35項卡脖子技術(shù)之一。UVTM掌握濺射靶材生產(chǎn)的核心技術(shù)以后,實施極其嚴(yán)格的保密措施,限制技術(shù)擴(kuò)散,同時不斷進(jìn)行橫向擴(kuò)張和垂直整合,將業(yè)務(wù)觸角積極擴(kuò)展到濺射鍍膜的各個應(yīng)用領(lǐng)域。研制出適用不同應(yīng)用領(lǐng)域的濺射靶材產(chǎn)品,才能在大部分國家濺射靶材市場中占得一席之地。UVTM自主創(chuàng)新開發(fā)的能力,TFT-LCD用高品質(zhì)ITO靶材,正式投入量產(chǎn)。自此,靶材的國外技術(shù)壁壘,在顯示面板產(chǎn)業(yè)重要材料國產(chǎn)化的道路上又前進(jìn)了一步。廣州以打造“世界顯示之都”的目標(biāo),重點領(lǐng)域包括顯示器及配套(含濺射靶材),打造千億級平板顯示產(chǎn)業(yè)集群。中國已經(jīng)成為面板、半導(dǎo)體、光伏、觸摸屏等光電行業(yè)的制造大國和強(qiáng)國,對新材料有巨大的自身需求。
靶材主要應(yīng)用在平板顯示、記錄媒體、光伏電池、半導(dǎo)體等領(lǐng)域。貨品的深加工技術(shù)朝高純化、精細(xì)化、的方向發(fā)展。由于鉭的表面能形成致密穩(wěn)定、介電強(qiáng)度高的無定形氧化膜,易于準(zhǔn)確方便地控制電容器的陽極氧化工藝,面積,高低溫特性好、使用壽命長、綜合性能不錯、其他電容器難以與之媲美,國外對高純金屬材料的開發(fā)研究較早,英國和俄羅斯等國家意志以來都十分重視高純金屬材料的研制、生產(chǎn)和應(yīng)用。其生產(chǎn)的高純金屬材料品種齊全、質(zhì)量好、產(chǎn)量大,產(chǎn)品純度高可達(dá)6N以上。貨品因其優(yōu)良的理化性能和高可靠性,成為保證半導(dǎo)體器件性能和發(fā)展半導(dǎo)體技術(shù)必不可少及不可替代的材料。此外,玫瑰金靶材、1N14靶材、2N18靶材等金銅合金靶材。在高等裝飾鍍膜中也有著廣泛的應(yīng)用。
靶材中毒是由于在濺射過程中帶有正電的離子聚集在靶表面。然后并沒有得到中和,便出現(xiàn)靶表面負(fù)偏壓逐步下降。這所謂的靶中毒現(xiàn)象。對于影響靶材中毒的因素是什么呢?1.影響靶中毒的因素主要是反應(yīng)氣體和濺射氣體的比例,反應(yīng)氣體過量就會導(dǎo)致靶中毒。反應(yīng)濺射工藝進(jìn)行過程中靶表面濺射溝道區(qū)域內(nèi)出現(xiàn)被反應(yīng)生成物覆蓋或反應(yīng)生成物被剝離而重新露金屬表面此消彼長的過程。采用中頻電源或射頻電源打一個到兩個小時,可以恢復(fù)。3.將靶材拆出來,用砂紙拋光,也可解決。控制鍍膜模式的變換:在鍍膜前,采集靶中毒的遲滯效應(yīng)曲線,使進(jìn)氣流量控制在產(chǎn)生靶中毒的****,確保工藝過程始終處于沉積速率陡降前的模式。防止靶材中毒,首先要保證真空室不漏。清理內(nèi)部,除去揮發(fā)成分等。
影響磁控靶濺射電壓的主要因素有:靶面磁場、靶材材質(zhì)、氣體壓強(qiáng)、陰-陽極間距等。學(xué)者詳細(xì)分析這些因素距對靶濺射電壓的影響。一、靶面磁場對靶濺射電壓的影響。磁控靶的陰極工作電壓,隨著靶面磁場的增加而降低,也隨著靶面的濺射刻蝕槽加深而降低。濺射電流也隨著靶面的濺射刻蝕槽加深而加大。這是因為靶的濺射刻蝕槽面會越來越接近靶材后面的較好磁鋼的強(qiáng)磁場。因此,靶材的厚度是有限制的。較厚的非磁性靶材能夠在較強(qiáng)的磁場中使用。當(dāng)磁場強(qiáng)度增加到01T以上時,磁場強(qiáng)度對濺射電壓的影響就不明顯了。鐵磁性靶材會對磁控靶的濺射造成影響,由于大部分磁力線從鐵磁性材料內(nèi)部通過,使靶材表面磁場減少,需要很高電壓才能讓靶面點火起輝。除非磁場非常的強(qiáng)。否則磁性材靶材必須比非磁性材料要演,才能起輝和正常運行(永磁結(jié)構(gòu)的Ni靶的典型值小于016cm,磁控靶非特殊設(shè)計較大值通常不宜超過3mmFeco靶的較大值不超過2mm;電磁結(jié)構(gòu)的靶可以濺射厚一些的靶材,甚至可達(dá)6mm厚)才能正常運行。
廣州市尤特新材料有限公司基本信息
公司網(wǎng)址:http://UVTMCOM.glass.com.cn
鐵磁性靶材,非磁性靶材,磁控濺射靶
產(chǎn)品屬性:
計量單位:套 供貨總量:9999 最小起訂量:1 產(chǎn)品單價:2800.00 品牌: 規(guī)格型號: 包裝說明: