氧化鋅摻鋁（AZO）薄膜因無害、成本低、Zn 源材料豐富以及在 H 等離子體中性能穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)得到廣泛的研究，尤其作為前電極應(yīng)用在薄膜太陽能電池中 。在AZO薄膜的制備方法中，磁控濺射技術(shù)具有成膜致密和成本低等優(yōu)點(diǎn)，其中以直流和射頻磁控濺射研究廣。 要獲得高性能的AZO薄膜，直流磁控濺射一般要求基片加熱到 200~500 ℃ ，提高了實(shí)際應(yīng)用中的成本，縮小了AZO薄膜的應(yīng)用范圍。而采用射頻磁控濺射技術(shù)可以在低溫下制備高性能的AZO薄膜，但是沉積速率太低，無法滿足實(shí)際生產(chǎn)的需求。

由于鋰離子電池具有不錯(cuò)的性能，如高能量密度、高操作電壓、長(zhǎng)循環(huán)壽命、低自放電率等，故廣泛應(yīng)用在手機(jī)、筆記本電腦等電子產(chǎn)品中。作為鋰電池的重要組成部分，隔膜在正極與負(fù)極材料之間起電子絕緣、提供微孔通道支持離子遷移的作用。電池的容量、循環(huán)以及安全性能與隔膜性能的優(yōu)劣有著直接的關(guān)系，可以說，沒有高質(zhì)量的隔膜就不會(huì)有性能不錯(cuò)的電池。

面對(duì)能源日益短缺及傳統(tǒng)化石燃料燃燒帶來的嚴(yán)重環(huán)境污染等問題，固體氧化物燃料電池(Solid oxide fuel cells，SOFC)因具有、零污染等顯著優(yōu)點(diǎn)而受到廣泛的關(guān)注及研究。幾十年來，業(yè)界公認(rèn)固體氧化物燃料電池是燃料電池中具有潛力的一種。 通過靜電噴涂技術(shù)在非常高分子量聚乙烯隔膜表面負(fù)載PVDF顆粒，制得非常高分子量聚乙烯復(fù)合隔膜。該隔膜具有較高的孔隙率和良好的尺寸穩(wěn)定性，縱向熱收縮率由2.6%減小到1．3%。PVDF 溶液的佳噴涂條件是:溶液濃度為3%;噴涂電壓為21kV;接收距離為 15cm。將該隔膜組裝成鋰離子電池，表明，隔膜的各項(xiàng)性能不錯(cuò)，電池的初次放電容量提高了4．2%，經(jīng)過 50 次充放電，電池的循環(huán)穩(wěn)定性良好。

雖然提高靶材的密度增加了靶材制造的難度，但是對(duì)靶材的使用，薄膜產(chǎn)品的質(zhì)量以及綜合成本的降低有明顯的好處。高密度靶材其表面粗糙度低，有效濺射面大，濺射效率高，靶材本身表面黑化趨勢(shì)降低，并且制得的薄膜電阻率低 。同時(shí)，高密度陶瓷靶材可以提高靶材的使用壽命，從而降低了靶材的使用成本。采用冷噴涂技術(shù)制備高性能金屬（以及合金），其材質(zhì)包括銀、鉻、銅等金屬和銀合金、銅合金、鋅合金等合金材料。改造后涂層質(zhì)量?jī)?yōu)于鑄造和熱噴涂，低氧含量＜1000PPM，密度大于97%。冷噴涂Ti涂層也應(yīng)用廣泛，Ti具有很高的性能密度比及耐腐蝕能力。冷噴涂Ti涂層可避免熱噴涂中的氧化和燃燒現(xiàn)象，殘余應(yīng)力低，結(jié)合強(qiáng)度高，同時(shí)涂層的使用壽命大大提高。

有學(xué)者提出了一些結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠度高的新型陰極靶結(jié)構(gòu)：旋轉(zhuǎn)陰極靶結(jié)構(gòu)，其中磁靴由磁軛板、外磁鐵和中心磁鐵組成， 其中靴板是一個(gè)和鎳靶同直徑的環(huán)形軟鐵圓盤， 短環(huán)形的外磁鐵安裝在磁軛板的邊緣，中心磁鐵是由 FeNdB 材料制成的永磁體，被偏心安裝在磁軛板上。磁軛繞著靶的中心線旋轉(zhuǎn)，并帶動(dòng)中心磁鐵繞著靶材的中心線偏心旋轉(zhuǎn)，磁力線在中心磁鐵和短外磁鐵之間形成閉合回路，使靶面的磁力線分布擴(kuò)寬，增加了濺射面積。

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