高真空鍍膜機(jī)一般由以下幾部分組成：真空系統(tǒng)、高真空鍍膜工作室、電氣控制與安全保護(hù)系統(tǒng)。采用電阻加熱，可加熱蒸發(fā)各種非難熔的金屬與非金屬材料。電極用橡膠圈與真空室底版密封，為了防止在加熱時電極過熱致使密封，對電極通水冷卻。電阻加熱元件采用高熔點的金屬鉬片制成舟狀，機(jī)械泵：機(jī)械泵是利用機(jī)械方法來獲得低真空的主要設(shè)備，也是高真空機(jī)組的前級泵。機(jī)械泵主要有圓柱形定子、偏心轉(zhuǎn)子和滑動翼片組成。機(jī)械泵不宜用于抽蒸汽；轉(zhuǎn)動方向必須是順時針方向；停止工作后要防止“返油”，故在抽氣口裝有電磁閥。擴(kuò)散泵：當(dāng)機(jī)械泵的極限真空不能滿足工作要求時，通常采用油擴(kuò)散真空泵來獲得高真空。在油擴(kuò)散泵的油槽內(nèi)盛有低蒸氣壓的硅油。

目前大部分國家高等靶材市場主要分布于韓國、中國、日本，中國有超過20家靶材生產(chǎn)企業(yè)，依靠國內(nèi)的巨大市場潛力和利好的產(chǎn)業(yè)政策，以及產(chǎn)品價格優(yōu)勢，國內(nèi)的靶材制造商已經(jīng)在國內(nèi)市場占有一定的市場份額，并逐步在個別細(xì)分領(lǐng)域搶占了部分國際大廠的市場空間。UVTM擁有多年開發(fā)和工作經(jīng)驗的納米材料，并擁有冷噴涂技術(shù)生產(chǎn)金屬合金靶材，其制備的靶材Sn和O含量均略低于國產(chǎn)靶材。UVTM還是靶材綁定方面的相關(guān)人士，可以保證靶材從初原料至靶材成型，綁定過程都得以好的控制。供應(yīng)高純銅靶材4N5N銅靶材科研用銅靶材（4N5N6N）詳細(xì)介紹尤特公司擁有先進(jìn)的噴涂、熔煉生產(chǎn)線，完善的檢測設(shè)備，****的表面處理技術(shù)和持續(xù)的研發(fā)投入�？蔀榭蛻籼峁⿲I(yè)的磁控濺射鍍膜行業(yè)全棧式服務(wù)。德純靶材。

冷氣體噴涂是一種增材制造工藝,其中金屬粉末被加速到超音速以粘附到材料表面。在眾多靶材制備技術(shù)中，熱噴涂技術(shù)可以快速、、大面積、大批量地制備氧化鈦靶材，且得到的靶材力學(xué)性能良好，噴涂成本較為低廉，因而使熱噴涂氧化鈦靶材的應(yīng)用更具前景。目前，制備氧化鈦靶材的常用方法主要有：溶膠凝膠法、絲網(wǎng)印刷法、噴霧熱分解法、化學(xué)氣相沉積、物理-氣相沉積、熱噴涂等。相比于上述幾種常用的靶材制備方法，熱噴涂方法具有沉積效率高，生產(chǎn)成本低，受基體限制小，可用于大規(guī)模的工業(yè)化生產(chǎn)等優(yōu)勢。其顯微硬度略高于LPPS和CGDS制備的Ti靶材。（3）SAPS制備的Ti靶材的沉積效率平均為52%，并選用粒徑范圍更小和球型度更好的粉末應(yīng)可進(jìn)一步提高沉積效率。

薄膜太陽能電池比傳統(tǒng)的晶體硅太陽能電池具有更加廣闊的市場空間。大部分國家光伏累計裝機(jī)容量不斷增長,給太陽能電池用濺射靶材市場帶來了較大的成長空間。高純?yōu)R射靶材是典型的技術(shù)密集型產(chǎn)業(yè),產(chǎn)品技術(shù)含量高,研發(fā)生產(chǎn)設(shè)備專用性強(qiáng)。大部分國家靶材市場主要由日美公司所掌控,市場集中度較高。日礦金屬是大部分國家的靶材供應(yīng)商，靶材銷售額約占大部分國家市場的30%，霍尼韋爾在并購JohnsonMattey、整合高純鋁、鈦等原材料生產(chǎn)廠后，占到大部分國家市約20%的份額，此外，東曹和普萊克斯分別占20%和10%。對靶材用量較大的行業(yè)主要有半導(dǎo)體集成電路、平板顯示器、太陽能電池、磁記錄介質(zhì)、光學(xué)器件等（這些就是按應(yīng)用的）。其中，高純度濺射靶材主要用于對材料純度、穩(wěn)定性要求更高的領(lǐng)域。

目前國內(nèi)光伏電池主要以硅片涂覆型太陽能電池為主，薄膜電池以及HIT占比較低，但是從目前的發(fā)展趨勢來看，未來HIT和薄膜電池增長潛力很大。大部分國家薄膜電池量保持10%以上的增速，另一方面，國內(nèi)對于HIT電池的投資熱情高漲，HIT也大概率會保持高速增長，產(chǎn)能有望從目前的2GW增長至2024年的100GW以上。Enel和法國光伏研究所將異質(zhì)結(jié)太陽能電池的效率提高到25.0%。可更新能源子公司EnelGreenPower已聯(lián)合法國替代能源和CEA旗下機(jī)構(gòu)法國國家太陽能研究所（INES），成功使異質(zhì)結(jié)太陽能電池的效率提高到25.0%。這種效率的提高得益于可使更多光線照射到電池表面的無母線技術(shù)，以及由INES和Enel聯(lián)合開發(fā)的可進(jìn)一步改善電池鈍化的處理方法。但靶材成本居高不下，是異質(zhì)結(jié)電池產(chǎn)業(yè)化過程中的一個大阻礙。

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