20世紀(jì)90年代以來(lái)靶材已蓬勃發(fā)展成為一個(gè)專(zhuān)業(yè)化產(chǎn)業(yè)，中國(guó)及亞太地區(qū)靶材的需求占有世界70%以上的市場(chǎng)份額。大量不同的沉積技術(shù)用來(lái)沉積生長(zhǎng)各種薄膜 ，而靶材是制作薄膜的關(guān)鍵，品質(zhì)的好壞對(duì)薄膜的意義重大。目前高等品質(zhì)靶材主要由:日本、德國(guó)和美國(guó)生產(chǎn)，我國(guó)靶材產(chǎn)業(yè)起步較晚，在產(chǎn)品質(zhì)量與精細(xì)標(biāo)準(zhǔn)上與國(guó)外有不少的差距，國(guó)內(nèi)也有許多大學(xué)及研究機(jī)構(gòu)對(duì)靶材積極投入了大量鉆研與開(kāi)發(fā)，經(jīng)過(guò)這幾年的發(fā)展也涌現(xiàn)了一批在靶材行業(yè)較好的公司和院校。在國(guó)內(nèi)占據(jù)了大部分中等和要求不高的靶材市場(chǎng)份額。

在裝飾鍍膜中也有著廣泛的應(yīng)用,獲得光亮、美觀(guān)、;價(jià)廉的塑料，陶瓷表面金屬化制品。廣泛應(yīng)用于汽車(chē)、摩托車(chē)燈具、工藝美術(shù)、裝潢裝飾、燈具、家具、玩具、酒瓶蓋、化妝品、手機(jī)、鬧鐘、女式鞋后跟等領(lǐng)域。ITO有著多種功用,首先ITO為高帶隙材料,可用作光電池的光入射窗口,又可作為收集光電流的電極,在基底半導(dǎo)體Si上形成勢(shì)壘作為SIS結(jié)的一層以及抗反射層。銦礦資源集中分布在中國(guó)、玻利維亞、俄羅斯等國(guó)。日韓美是重要的銦消費(fèi)國(guó),也是我國(guó)原生銦的主要***國(guó)。高純?yōu)R射靶材市場(chǎng)規(guī)模將超過(guò)160億美元，年復(fù)合增長(zhǎng)率達(dá)13%。近年來(lái)，磁控濺射靶材是國(guó)家鼓勵(lì)和發(fā)展的新材料產(chǎn)業(yè)。對(duì)于ITO靶材，我國(guó)有銦資源優(yōu)勢(shì)。

而Low-E膜層厚度僅為隧穿的10%～20%。合理考慮膜層所含元素對(duì)數(shù)據(jù)的影響，可以大致判斷基底玻璃在缺陷區(qū)域內(nèi)的變化程度。(3)相比基片，由于鍍膜引入了部分的Si，綜合Ca/Na比值下降（鍍膜材料中也不含有Ca），可以判斷是Na含量超出基片正常值而導(dǎo)致缺陷處相應(yīng)元素含量比值的大幅下降。氧化物靶材。?銅銦鎵硒（CIGS）5N高純鋁靶光伏太陽(yáng)能靶材靶材生產(chǎn)商對(duì)工業(yè)鍍膜及相關(guān)制品加工中出現(xiàn)的若干缺陷案例采用SEM-BSE/EDS進(jìn)行觀(guān)測(cè)。分析并比較缺陷/正常區(qū)域在形貌結(jié)構(gòu)、組成上的差異，尋找缺陷成因，進(jìn)而研發(fā)相應(yīng)的生產(chǎn)及品質(zhì)改進(jìn)辦法。（1）Low-E膜層中不含有Na，以基質(zhì)中的Na作為標(biāo)定物是相對(duì)穩(wěn)定的。（2）電子束的隧穿達(dá)到約1.5m。不會(huì)隨著膜系更改、膜層的而發(fā)生元素含量上的變化。陶瓷靶材。

靶材，特別是高純度濺射靶材應(yīng)用于電子元器件制造的物理-氣相沉積工藝（PVD）、太陽(yáng)能電池等表面電子薄膜的關(guān)鍵材料。所謂濺射，是制備薄膜材料的主要技術(shù)，也是PVD的一種。它通過(guò)在PVD設(shè)備中用離子對(duì)目標(biāo)物進(jìn)行轟擊，使得靶材中的金屬原子以一定能量逸出，從而在晶圓表面沉積，濺鍍形成金屬薄膜，其中被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料。稱(chēng)為濺射靶材。IGZO，氧化銦錫，氧化鋅鋁，AZO，ITO，氧化錫，二氧化錫，氧化鋯，氧化鉬，氧化鈷，四氧化三鈷，氧化亞鈷，氧化銀，氧化鈣，等高純氧化物。

真空設(shè)備檢修三要素的方案：1首先判斷出起主要作用的是什么因素，找到問(wèn)題的所在，從而采取相應(yīng)的措施加以解決。2真空測(cè)量真空測(cè)量是指用特定的儀器、對(duì)某一真空設(shè)備空間內(nèi)真空度高低的量度。因此真空測(cè)量?jī)x表好壞直接影響設(shè)備正常運(yùn)行。真空計(jì)的種類(lèi)很多，大體上可分真空計(jì)和相對(duì)真空計(jì)兩大類(lèi)。凡通過(guò)測(cè)定物理參數(shù)直接計(jì)出氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)稱(chēng)為真空計(jì)。通過(guò)測(cè)量與壓強(qiáng)有關(guān)物理量，并進(jìn)行計(jì)算得到壓強(qiáng)值的真空計(jì)稱(chēng)為相對(duì)真空計(jì)。真空計(jì)精度較高，一般作為標(biāo)準(zhǔn)用，在實(shí)際生產(chǎn)中，大都使用相對(duì)真空計(jì)。

為了防止在加熱時(shí)電極過(guò)熱致使密封，對(duì)電極通水冷卻。電阻加熱元件采用高熔點(diǎn)的金屬鉬片制成舟狀，機(jī)械泵：機(jī)械泵是利用機(jī)械方法來(lái)獲得低真空的主要設(shè)備，也是高真空機(jī)組的前級(jí)泵。機(jī)械泵主要有圓柱形定子、偏心轉(zhuǎn)子和滑動(dòng)翼片組成。機(jī)械泵不宜用于抽蒸汽；轉(zhuǎn)動(dòng)方向必須是順時(shí)針?lè)较�；停止工作后要防�?ldquo;返油”，故在抽氣口裝有電磁閥。擴(kuò)散泵：當(dāng)機(jī)械泵的極限真空不能滿(mǎn)足工作要求時(shí)，通常采用油擴(kuò)散真空泵來(lái)獲得高真空。目前靶材市場(chǎng)主要分布于韓國(guó)、中國(guó)、日本，中國(guó)有超過(guò)20家靶材生產(chǎn)企業(yè)，依靠國(guó)內(nèi)的巨大市場(chǎng)潛力和利好的產(chǎn)業(yè)政策，以及產(chǎn)品價(jià)格優(yōu)勢(shì)，國(guó)內(nèi)的靶材制造商已經(jīng)在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占有一定的市場(chǎng)份額，并逐步在個(gè)別細(xì)分領(lǐng)域搶占了部分國(guó)際大廠(chǎng)的市場(chǎng)空間。

廣州市尤特新材料有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“尤特”），成立于2003年，位于羊城廣州的北面-花都,占地總面積約3萬(wàn)平方米。尤特是一家專(zhuān)注于時(shí)尚消費(fèi)電子產(chǎn)業(yè)、節(jié)能綠色環(huán)保產(chǎn)業(yè)、新材料新技術(shù)開(kāi)發(fā)和應(yīng)用的重要高新技術(shù)企業(yè)。尤特以生產(chǎn)信息存儲(chǔ)記錄材料為起點(diǎn)，經(jīng)過(guò)10多年的開(kāi)拓與發(fā)展，產(chǎn)業(yè)技術(shù)不斷迭代與升級(jí)，尤特的技術(shù)及應(yīng)用涉獵范圍逐步擴(kuò)大，其中主要包括：真空鍍膜靶材；環(huán)保（UV/水性）材料；觸控顯示材料；印刷技術(shù)及材料；信息存儲(chǔ)材料、導(dǎo)電散熱材料等。尤特一直倡導(dǎo)“新材料、促環(huán)保、美生活”企業(yè)使命。尤特遵循科學(xué)體系管理，先后通過(guò)《質(zhì)量管理體系》、《環(huán)境管理體系》、《職業(yè)健康與安全管理體系》認(rèn)證并有效運(yùn)行，產(chǎn)品符合全部環(huán)境及安全標(biāo)準(zhǔn)；獲得SONY GP綠色合作伙伴全部認(rèn)證等。尤特重視產(chǎn)品研發(fā)及技術(shù)創(chuàng)新，先后與"武漢大學(xué)"、"華南理工大學(xué)"、"中南大學(xué)"等高校、研究所建立"產(chǎn)學(xué)研"合作機(jī)制，并承擔(dān)多項(xiàng)省市立項(xiàng)的科研項(xiàng)目，公司目前已擁有幾十項(xiàng)自主研發(fā)新興材料及工藝的知識(shí)產(chǎn)權(quán)，是廣州市扶持科技型要點(diǎn)培育上市企業(yè)。尤特先后獲得相關(guān)機(jī)構(gòu)的授予多個(gè)榮譽(yù)：如“國(guó)家生產(chǎn)力促進(jìn)獎(jiǎng)、國(guó)家有名商標(biāo)、廣東省守合同重信用企業(yè)、廣東省雇主責(zé)任示范企業(yè)、廣州市安全生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)化達(dá)標(biāo)企業(yè)、廣州市工程技術(shù)研發(fā)中心、廣州科技小巨人企業(yè)、地方納稅企業(yè)”等榮譽(yù)。尤特全體同仁秉承“創(chuàng)造價(jià)值，分享價(jià)值“的核心價(jià)值觀(guān)，借鑒以往成功管理運(yùn)營(yíng)經(jīng)驗(yàn)，持續(xù)深挖磁控濺射鍍膜材料下游應(yīng)用市場(chǎng)，不斷拓寬市場(chǎng)應(yīng)用領(lǐng)域，做優(yōu)做強(qiáng)鍍膜材料產(chǎn)業(yè),將公司打造為--磁控濺射靶材行業(yè)者。

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