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廣州市尤特新材料有限公司

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主營:濺射靶材,鍍膜靶材,金屬靶材,旋轉(zhuǎn)靶材,平面靶材,噴涂靶材,靶材,UV玻璃油墨

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氧化物靶材,氧化鈦靶材,氧化鈦管靶

  • 氧化物靶材,氧化鈦靶材,氧化鈦管靶
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  • 供應(yīng)標題:氧化物靶材,氧化鈦靶材,氧化鈦管靶

    價格:電儀

    發(fā)布公司:廣州市尤特新材料有限公司

    供貨總量:9999

    聯(lián)系人:楊永添

    發(fā)貨地點:廣東 廣州 花都區(qū)

    發(fā)布時間:2024年08月16日

    有效期至:2025年02月16日

    在線詢盤:在線詢盤

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    基本信息

    靶材中毒是由于在濺射過程中帶有正電的離子聚集在靶表面。然后并沒有得到中和,便出現(xiàn)靶表面負偏壓逐步下降。這所謂的靶中毒現(xiàn)象。對于影響靶材中毒的因素是什么呢?1.影響靶中毒的因素主要是反應(yīng)氣體和濺射氣體的比例,反應(yīng)氣體過量就會導致靶中毒。反應(yīng)濺射工藝進行過程中靶表面濺射溝道區(qū)域內(nèi)出現(xiàn)被反應(yīng)生成物覆蓋或反應(yīng)生成物被剝離而重新暴露金屬表面此消彼長的過程。采用中頻電源或射頻電源打一個到兩個小時,可以恢復。3.將靶材拆出來,用砂紙拋光,也可解決。控制鍍膜模式的變換:在鍍膜前,采集靶中毒的遲滯效應(yīng)曲線,使進氣流量控制在產(chǎn)生靶中毒的前,確保工藝過程始終處于沉積速率陡降前的模式。防止靶材中毒,首先要保證真空室不漏。清理內(nèi)部,除去揮發(fā)成分等。

    目前國內(nèi)氧化物薄膜材料的制備方法和技術(shù)有很多,其中主要的方法有脈沖激光沉積、磁控濺射、電子束蒸發(fā)、分子束外延等物理方法,以及化學氣相沉積、溶膠-凝膠、噴霧熱解等化學方法。在這些制備技術(shù)中,磁控濺射鍍膜技術(shù)具有易于大面積鍍膜、工業(yè)化生產(chǎn)以及薄膜品質(zhì)、成分、結(jié)構(gòu)、均勻性等易于調(diào)控的優(yōu)勢,是產(chǎn)業(yè)化制備氧化物薄膜材料的重要方法之一,以該方法制備的氧化物薄膜材料在液晶面板、觸摸屏、薄膜太陽能電池、發(fā)光二極管等產(chǎn)業(yè)上獲得了廣泛應(yīng)用。

    廣州市尤特新材料有限公司基本信息

    主營產(chǎn)品:濺射靶材,鍍膜靶材,金屬靶材,旋轉(zhuǎn)靶材,平面靶材,噴涂靶材,靶材,UV玻璃油墨 公司成立年份:2003
    公司網(wǎng)址:http://UVTMCOM.glass.com.cn

    氧化物靶材,氧化鈦靶材,氧化鈦管靶


    產(chǎn)品屬性:
    計量單位:套 供貨總量:9999 最小起訂量:1 產(chǎn)品單價:3500.00 品牌: 規(guī)格型號: 包裝說明:

    氧化物靶材,氧化鈦靶材,氧化鈦管靶產(chǎn)品概況

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